亚星私网１５２１８２７１４７９欧博代理一比一万利公司聚焦薄膜沉积设备，三大系列均已批量供货国内主要集成电路晶圆厂产线。公司 主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次 常压化学气相沉积（SACVD）设备三大系列薄膜沉积设备。经过十余年的积累沉淀与快速 发展，公司已形成覆盖二十余种工艺型号的薄膜沉积设备，可以满足下游集成电路制造客 户产线对于不同材料、不同芯片结构薄膜沉积工序的设备需求。目前，三大系列产品均已 批量发往国内主要集成电路晶圆厂产线，广泛应用于国内晶圆厂 14nm 及以上制程集成电 路制造产线，累计发货超 150 台，并已展开 10nm 及以下制程产品验证测试。